Крупнейший производитель литографического оборудования ASML Holding NV и корпорация Intel объявили о новом этапе стратегического сотрудничества. Он предполагает поставки с 2025 года производственных машин для EUV-литографии под названием Twinscan EXE:5200.
Установка для фотолитографии в экстремальном ультрафиолете Twinscan EXE:5200 обладает высокой числовой апертурой 0,55 (high-NA) и производительностью более 200 пластин в час. Такая апертура обеспечивает дальнейшие уменьшение размеров элементов на кремниевой пластине. Новые машины открывают путь к техпроцессам 2-нм класса, известных под коммерческим названием Intel 20A и Intel 18A.
На данный момент голландская компания ASML является монополистом на рынке оборудования фотолитографии с безусловным техническим превосходством над конкурентами. Установки Twinscan EXE:5000 или EXE:5200 имеют большие размеры, вес две сотни тонн и примерную стоимость более $300 млн за штуку. Это делает фотолитографические машины одними из самых дорогих промышленных приборов в мире.
Источник:
ASML
